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真空炉常用真空泵简介

2019-03-04

       把气体从设备内抽吸出来,从而使设备内的压力低于一个大气压的机器叫真空泵。实际上,真空泵是一种气体输送机械,它把气体从低于一个大气压的环境中输送到大气中或与大气压力相同的环境中。

真空炉中要用的真空泵一般有机械泵、罗茨泵、分子泵等。

常用的机械泵有定片式、旋片式、滑阀式,而最普遍采用的为旋片式真空泵(简称旋片泵),它是一种油封式机械真空泵。旋片式机械泵既可以单独使用,也可以作为其他高真空泵或超高真空泵的前级预抽泵。它可以用来抽除真空密封容器中的干燥气体,在装有气镇阀的情况下,也可以抽除一定数量的可凝性气体。但不适用于抽除对金属具有腐蚀性的含氧高的、含有颗粒尘埃的以及对泵油起化学反应的气体。旋片式机械泵是真空技术中获得最基本真空的设备之一。

罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶或多叶形的转子,转子间、转子与泵壳内壁之间均保持有一定的间隙。它属于无内压缩式的真空泵.按用途又分为湿式罗茨泵,直排大气式罗茨泵和机械增压泵等类型,由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。

分子泵的工作原理分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵又可以分为:牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口;2.涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作;复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵


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